数字精密测量技术是数字化制造技术的关键技术之一。亚微米和纳米高精度测量仪器的发展提高了环境适应性和鲁棒性，使精密测量设备能够进入生产现场，融入加工机床和制造系统，形成先进的数字闭环制造系统，这是当今精密测量技术的发展趋势。
中国制造业薄弱的技术基础、弱创新能力和低端产品的现状亟待改变。制造业的发展在国民经济中占有重要地位。特别是在高精度检测技术和设备方面，国内技术水平远远落后于国际水平，给国内和行业的发展带来了很大的障碍。
在工业和民用领域，迫切需要对在线测量设备进行研究。本文主要研究复杂、难检测、复杂零件在线检测的关键技术和方法。现有的元器件测试技术主要有接触式和非接触式两种。接触式测量方法有三坐标测量法和单位位移传感器测量法。高测量精度和重复性。然而，由于三坐标测量方法和单向位移传感器的效率较低，使得多元素测量不能满足要求。一次采样只能获得一维信息。
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