三维扫描仪精度是扫描后得到的三维模型真实反映扫描工件实际尺寸的情况。三维扫描仪的精度，除了跟硬件的配置有关，更重要的与三维扫描软件的拼接算法有关。三维扫描仪的精度是判断三维扫描仪性能好坏的重要参数，如何验证三维扫描仪的精度因此显得很关键。在选择三维扫描仪的过程中，用户往往以为设备能够扫描出整体模型，细节看上去还不错，精度就会没问题，实际上，能够扫描出整体模型或者模型的细节看上去不错，并不能真实的反映出三维扫描仪的精度。
验证三维扫描仪的精度时，我们可以拿一个物体，先用三维扫描仪扫描这个物体得到三维模型，在测量软件中测量三维模型一些部位的尺寸，然后拿微米级精度的三坐标测量同一个物体的对应尺寸，然后将测量软件中的尺寸值与三坐标中的尺寸值做对比，通过两个尺寸值之间的差距，判断三维扫描仪的精度高低；或者拿一个标准量块，用三维扫描仪扫描标准量块，获得量块的三维模型，然后在测量软件中测量量块三维模型标准值相对应的尺寸，判断测量尺寸与标准量块实际尺寸的差值，通过这个差值判断三维扫描仪的精度高低。
有些3d扫描仪在扫描一些简单的模型时看起来完美无瑕，但在扫描一些复杂的物体时，扫描的3D模型数据质量很差。例如，一些3D扫描仪在扫描一些大尺寸物体时，由于拼接能力弱，初始扫描数据和后续扫描数据可能无法拼接在一起，导致数据无用；还有一些 3D 扫描仪可以扫描薄壁物体。此时，由于拼接时无法进行双边过渡，拼接时扫描数据可能会在两侧错开，壁薄。下图是扫描厚度为0.5mm的薄壁工件得到的交错层三维模型.
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